真空等離子清洗機(jī)由真空發(fā)生系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、等離子發(fā)生器、真空腔休、機(jī)械等幾個(gè)部分組成,廣泛應(yīng)用于表面去油及清洗等離子刻蝕,聚四氟(PTFE)及聚四氟混合物的刻蝕、塑料、玻璃、陶瓷的表面活化和清洗、等離子涂鍍聚合等工序,因此又應(yīng)用于汽車電子領(lǐng)域、軍工電子領(lǐng)域、PCB制成行業(yè)等高精密度領(lǐng)域。
氣體分子在真空、放電等特殊場(chǎng)合下產(chǎn)生的物質(zhì),真空離子清洗 等離子清洗/刻蝕產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電磁場(chǎng),用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體越來越稀薄,分子間距及分子或郭的自由運(yùn)動(dòng)距離也越來越長(zhǎng),受磁場(chǎng)作用,發(fā)生碰撞而形成等離子體,同時(shí)會(huì)發(fā)生輝光,等離子體在電磁場(chǎng)內(nèi)空間運(yùn)動(dòng),并轟擊被處理物體表面,達(dá)到去除表面油污以及表面氧化物,灰化表面有機(jī)物,以及其它化學(xué)物質(zhì),從而達(dá)到表面處理、清洗和刻蝕效果,經(jīng)過等離子處理工藝可以實(shí)現(xiàn)有選擇的表面改性。
真空等離子清洗機(jī)特點(diǎn):
1.環(huán)保技術(shù):等離子體作用過程是氣- 固相干式反應(yīng) ,不消耗水資源、無需添加化學(xué)藥劑,對(duì)環(huán)境無污染。
2.廣適性:不分處理對(duì)象的基材類型,均可進(jìn)行處理,如金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料都能很好地處理;
3.溫度低:接近常溫,特別適于高分子材料,比電暈和火焰方法有較長(zhǎng)保存時(shí)間和較高表面張力。
4.功能強(qiáng):僅涉及高分子材料淺表面(10 -1000A ),可在保持材料自身特性的同時(shí),賦予其一種或多種新的功能;
5.低成本:裝置簡(jiǎn)單,易操作維修,可連續(xù)運(yùn)行,往往幾瓶氣體就可以代替數(shù)千公斤清洗液,因此清洗成本會(huì)大大低于濕法清洗。
6.全過程可控工藝:所有參數(shù)可由PLC設(shè)置和數(shù)據(jù)記錄,進(jìn)行質(zhì)量控制。
7.處理物幾何形狀無限制:大或小,簡(jiǎn)單或復(fù)雜,部件或紡織品,均可處理。